加工指标(直径与厚度比例须符合10:1):
尺寸范围 | 外形精度 | 面型不规则精度(RMS) | 光洁度 | 偏心精度 | 倒边 | 镀膜波段 |
5-100(mm) | +/-0.02(mm) | λ/50@632.8nm | 40/20 | 1分 | 0.2mm*45°(mm) | UV、VIS |
101-200(mm) | +/-0.05(mm) | λ/20@632.8nm | 60/40 | 1分 | 0.2mm*45°(mm) | UV、VIS |
尺寸范围 | 外形精度 | 面型不规则精度(RMS) | 光洁度 | 偏心精度 | 倒边 | 镀膜波段 |
5-100(mm) | +/-0.02(mm) | λ/50@632.8nm | 40/20 | 1分 | 0.2mm*45°(mm) | UV、VIS |
101-200(mm) | +/-0.05(mm) | λ/20@632.8nm | 60/40 | 1分 | 0.2mm*45°(mm) | UV、VIS |